ISO 14644的本部分指定ISO分级的各级别,以此作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术要求.本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序,而且确定了测试的标准方法.现在小编为你介绍格纯净化无尘车间。
为划分等级,ISO 14644的本部分于确定粒子浓度限值用的指定的粒径范围.本部分还提供了标准协议,以依据大于或小于指定分级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级标识。
ISO 14644的本部分为无尘车间和污染控制系列标准中的一个标准.除悬浮粒子洁净度之外,还有许多因素必须在洁净室及其受控环境的设计、技术要求、运行和控制中予以考虑。
ISO 14644-1洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级(国际标准)
空气洁净度等级(N)大于或等于所标粒径的粒子大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1 um0.2 um0.3 um0.5um1um5 um
ISO Class 1102
ISO Class 210024104
ISO Class 31000237102358
ISO Class 41000023701035283
ISO Class 5100000237001003583229
ISO Class 61000000237000100035083293
ISO Class 7
35008302930
ISO Class 8
35000830029300
ISO Class 9
35000083000293000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。