一、气流组织:
洁净室中的气流组织与普通空调房间的气流组织不同,它需要首先将清洁的空气送到操作现场。 其功能是限制和减少工件的污染。为此,在清洁车间设计气流时应考虑这些原则:尽量减少涡流,避免将工作区域外的污染引入工作区域,尽量防止二次粉尘飞扬,以减少粉尘污染工件的机会,气流应尽可能均匀,风速应满足工艺和卫生要求,当气流流向回风口时,空气中的灰尘可以被有效地带走。
二,供气清洁度:
清理系统系统终过滤器通常使用高效过滤器或次高效过滤器,在这里每个清洁度水平似乎有两种类型的过滤器可供选择,无论是高性能还是低性能,具体取决于具体情况:当环境受到严重污染,或室内排气比例大,或洁净室时 特别重要的是需要很大的安全系数。
在任一种或两种情况下,选择更高类型的过滤器相反,可以选择性能较低的滤波器。对于需要控制0.1μm颗粒的洁净室,无论受控颗粒浓度如何,都应选择D级过滤器。